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携手共进,晶体生长模拟软件FEMAG助推KAYEX亮相SEMICAN China 2015
原文作者:CnTech 发布时间: 2015-03-19 14:56:48 新闻来源: CnTech
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   2015年3月17日,在上海新国际博览中心举行的全球最大的半导体展览SEMICON China 2015上,晶体生长模拟软件的领导品牌——FEMAG,携手世界先进的半导体级和太阳能级硅、锗直拉单晶炉设备供应商KAYEX向全球的参观者展示了KAYEX先进的晶体生长炉,以及使用FEMAG软件,在晶体生长工艺数值模拟方面所取得的成就。

 

 

   KAYEX公司在单晶生长领域具有独特的技术优势和40多年的成功的经验,全球超过2000台的单晶炉安装量,是世界上三个拥有16英寸单晶硅棒设备制造能力的公司之一。来自美国的研发团队在介绍KAYEX的晶体生长炉时,特意强调,FEMAG软件在他们的炉体设计、热场设计中发挥了非常重要的作用。

 

 

   FEMAG是全球半导体晶体生长模拟最著名的商业软件,依托于中仿科技研发中心的创新性研发,融合了比利时FEMAG SA.公司全球先进的技术,中仿科技公司对于FEMAG软件完全拥有中国自主知识产权和技术专利。FEMAG软件耦合了晶体生长过程中所有重要物理现象,包括辐射传热、导热传热及对流传热,并耦合了各种电磁场对晶体生长过程传热、对流的影响。可模拟各种晶体生长工艺,包括提拉法(Cz)、泡生法(Ky)、区熔法(FZ)、垂直布里奇曼法(VB)、垂直梯度凝固法 (VGF)、定向凝固法(DS)、热交换法(HEM)以及物理气相传输法(PVT)等。

 

   FEMAG软件在单晶硅、多晶硅和单晶锗生长模拟方面的优势,帮助KAYEX公司优化晶体生长工艺、先进热场开发,实现生产成本最小化。在本次SEMICON China 2015展会上,FEMAG助推KAYEX成为单晶炉厂商中最耀眼的明星。