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晶体生长模拟软件助力超纯硅晶体厂商亮相SEMICON China 2015
原文作者: 发布时间: 2015-04-08 11:21:27 新闻来源:
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    2015年3月17日,全球最大的半导体展览SEMICON China 2015在上海新国际博览中心W1-W5馆隆重举行,吸引了超过900家厂商和研究所参加本次展览,晶体生长模拟软件的领导品牌——FEMAG,携手超纯硅晶体生长厂商,向全球的参观者展示区熔法(FZ)工艺生长超纯硅的技术,以及区熔法的数值模拟方法。

    区熔法制备的单晶硅纯度很高,实际生产中区熔法单晶的氧含量比直拉硅单晶的氧含量低2到3个数量级。因此很多高质量的电子器件,高集成电路,例如光敏二极管、射线探测器、红外探测器等器件的关键部位多采用区熔法制备的单晶硅来制造。

    FEMAG是全球半导体晶体生长模拟最著名的商业软件,依托于中仿科技研发中心的创新性研发,融合了比利时FEMAG SA.公司全球先进的技术,中仿科技公司对于FEMAG软件完全拥有中国自主知识产权和技术专利。FEMAG/FZ是针对晶体生长区熔法(FZ)而开发的专用软件,这是目前世界上最专业并且也是唯一的用于模拟分析区熔法晶体生长工艺过程的软件。FEMAG/FZ可以帮助用户全面分析单晶硅区熔法生长过程中的热场、应力场、流场、缺陷、加热器功率等问题,并具有辅助工艺优化设计的功能,为用户提供可靠的工艺仿真数据和工艺优化方案。