关注我们: 登录 | 会员中心  | 手机版 | English

当前位置:中仿» 新闻中心 » 公司新闻公司新闻
晶体生长模拟软件携VB/VGF工艺模拟技术亮相SEMICON China 2015
原文作者: 发布时间: 2015-04-08 11:12:18 新闻来源:
字体大小: 打印

    2015年3月17日,全球最大的半导体展览SEMICON China 2015在上海新国际博览中心W1-W5馆隆重举行,吸引了超过900家厂商和研究所参加本次展览,晶体生长模拟软件的领导品牌——FEMAG,与锑化镉、砷化镓、磷化铟晶体生长厂商一起,向全球的与会者展示垂直布里兹曼法(VB)和坩埚下降法(VGF)工艺以及数值模拟技术。

    VGF法,又称坩埚下降法,是定向凝固法的一种改进,通过加热器分布和功率控制在炉内形成一定的温度场,并通过坩埚下降的方式来调整炉体的温度梯度,使晶体在坩埚内结晶,结晶也是从底部的籽晶开始,结晶界面随着坩埚的下降而逐步往上推移。VB法,又名垂直布里兹曼法,英文名Bridgman Method。它本质上就是坩埚下降法,是通过坩埚移动来调整坩埚内温度场分布的晶体生长方法。本次展会期间,中国电子科技集团第四十六研究所和青岛花旗科技有限公司,分别展出了运用VB/VGF工艺生长的砷化镓等产品。

    FEMAG是全球半导体晶体生长模拟最著名的商业软件,依托于中仿科技研发中心的创新性研发,融合了比利时FEMAG SA.公司全球先进的技术,中仿科技公司对于FEMAG软件完全拥有中国自主知识产权和技术专利。FEMAG/VB是针对晶体生长工艺VB/VGF而开发的专用软件。FEMAG/VB可以帮助用户全面分析晶体生长工艺过程中的的热场、应力场、流场、缺陷、加热器功率等问题,包括辐射传热、导热传热及对流传热,并耦合了各种电磁场对晶体生长过程传热、对流的影响。FEMAG/VB具有辅助工艺优化设计的功能,为用户提供可靠的工艺仿真数据和工艺优化方案。